DBD大氣壓氮?dú)獾入x子清洗機(jī)均勻放電如何研究?
文章導(dǎo)讀:大氣壓環(huán)境下DBD等離子清洗機(jī)的均勻放電又稱為大氣壓下準(zhǔn)輝光放電,普樂斯專注研制等離子清洗機(jī),等離子表面處理設(shè)備,本篇文章就將主要介紹DBD氮?dú)獾入x子設(shè)備的均勻放電研究裝置及實(shí)驗(yàn)過程。
大氣壓環(huán)境下DBD等離子清洗機(jī)的均勻放電又稱為大氣壓下準(zhǔn)輝光放電,一直以來都是大氣壓DBD研究的重要方向,在普樂斯以往對(duì)于大氣壓DBD的介紹中,一般均是使用氦氣來做相關(guān)的實(shí)驗(yàn)及說明的,那么DBD氮?dú)獾入x子清洗機(jī)均勻放電是如何獲得的?又該怎樣進(jìn)行研究呢?接下來我們著重介紹一下。
一、關(guān)于大氣壓DBD氮?dú)饩鶆蚍烹姷难芯垦b置
首先我們需要了解到的是,與氦氣相比,等離子清洗機(jī)要想在大氣壓環(huán)境中實(shí)現(xiàn)氮?dú)饩鶆蚍烹姷碾y度相對(duì)較大,只能在較短的氣隙中實(shí)現(xiàn)。因此,我們?cè)诘獨(dú)釪BD放電實(shí)驗(yàn)中,我們可以大致沿用氦氣實(shí)驗(yàn)的裝置,但需要將氣隙長度縮短為2mm。
二、相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)過程
完整的實(shí)驗(yàn)過程需要先將放電室抽真空至5Pa以下,然后充入純凈的氮?dú)猓?9.999%),并且維持一定流速的純凈氮?dú)饬?,?0cm/s。設(shè)計(jì)吹氣系統(tǒng)和抽氣系統(tǒng)以動(dòng)態(tài)維持放電室的氣壓在一個(gè)大氣壓。質(zhì)量流量計(jì)控制流速范圍為0~30slm(標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘),相應(yīng)的間隙內(nèi)的氣流速度為0~167cm/s。
以上就是關(guān)于DBD氮?dú)獾入x子設(shè)備的均勻放電研究裝置及實(shí)驗(yàn)過程的介紹,在下篇文章中,普樂斯將通過實(shí)驗(yàn)所得的外加電壓與放電總電流波形圖、氣體間隙的側(cè)面所拍攝的放電圖像來觀察氣隙電壓和運(yùn)流電流存在的關(guān)聯(lián)。
普樂斯電子9年專注研制等離子清洗機(jī),等離子表面處理設(shè)備,已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證,為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗,活化,刻蝕,涂覆的等離子表面處理解決方案。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問,歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電!

首先我們需要了解到的是,與氦氣相比,等離子清洗機(jī)要想在大氣壓環(huán)境中實(shí)現(xiàn)氮?dú)饩鶆蚍烹姷碾y度相對(duì)較大,只能在較短的氣隙中實(shí)現(xiàn)。因此,我們?cè)诘獨(dú)釪BD放電實(shí)驗(yàn)中,我們可以大致沿用氦氣實(shí)驗(yàn)的裝置,但需要將氣隙長度縮短為2mm。
二、相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)過程
完整的實(shí)驗(yàn)過程需要先將放電室抽真空至5Pa以下,然后充入純凈的氮?dú)猓?9.999%),并且維持一定流速的純凈氮?dú)饬?,?0cm/s。設(shè)計(jì)吹氣系統(tǒng)和抽氣系統(tǒng)以動(dòng)態(tài)維持放電室的氣壓在一個(gè)大氣壓。質(zhì)量流量計(jì)控制流速范圍為0~30slm(標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘),相應(yīng)的間隙內(nèi)的氣流速度為0~167cm/s。
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