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真空等離子清洗機(jī)品牌廠商選擇流量控制器的經(jīng)驗之談

返回列表 來源：普樂斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2019-08-06 08:31【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：工藝氣體流量的穩(wěn)定性是影響設(shè)備處理效果的重要參數(shù)之一，質(zhì)量流量控制器是實現(xiàn)控制氣體流量穩(wěn)定性的重要部分，那么流量控制器的選擇有什么經(jīng)驗可以分享給大家呢？
首先補(bǔ)充一點，常壓大氣型的等離子處理設(shè)備建議選擇的是帶有流量控制器的專用氣源來為設(shè)備提供穩(wěn)定的工作氣體，那么低壓真空型的等離子處理設(shè)備，一般會選擇使用質(zhì)量流量控制器來實現(xiàn)對通入工藝氣體的流量控制，低壓真空型的等離子處理設(shè)備的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，一些大型的低壓真空等離子處理設(shè)備也會使用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。了解了以上信息，那么氣體流量控制器如何選擇？普樂斯作為真空等離子清洗機(jī)品牌廠商，在選擇上也有經(jīng)驗可與大家探討：
真空等離子清洗機(jī)品牌廠商選擇流量控制器的經(jīng)驗之談-普樂斯真空等離子清洗機(jī)品牌廠商
通入的工藝氣體不同，建議選擇相應(yīng)的氣體的專用質(zhì)量流量控制器，可以有效保障輸入氣體的穩(wěn)定和計量，因為根據(jù)所使用的工藝氣體不同，氣體分子的大小也會不同、其化學(xué)性質(zhì)也是不同的，如果使用相同規(guī)格的質(zhì)量流量控制器是會存在流量誤差以及安全隱患的。另外，如使用的是常規(guī)工藝氣體，可以選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn)，只需要保障氣體流量的穩(wěn)定性；需要注意的是，如果使用的是H2、CF4等特殊氣體或其他易爆易燃具有腐蝕性的工藝氣體，那么則一定要使用專用的質(zhì)量流量控制器設(shè)備。
實驗型低壓真空等離子設(shè)備-普樂斯真空等離子清洗機(jī)品牌廠商
實驗型低壓真空等離子處理設(shè)備的質(zhì)量流量控制器選擇：
實驗型設(shè)備通常來說對流量控制要求不算嚴(yán)苛，純手動操作的設(shè)備，也會使用到手動浮子流量計。

選擇時的其他注意事項：
低壓真空等離子處理設(shè)備是需要保證真空的反應(yīng)腔體壓力穩(wěn)定，所以在選用好適合的氣體流量控制器后，還應(yīng)該需注意氣管接頭的選用。通常會使用到的是快擰接頭或卡套接頭作為氣管接頭，來滿足工藝氣體真空管路的密封性。
氣管接頭的選用-普樂斯真空等離子清洗機(jī)品牌廠商
此外，當(dāng)處理的是一些特殊材料時，可能會把液態(tài)單體作為放電介質(zhì)，這時一定要使用手動浮子流量計作為流量控制器；對于腐蝕性單體則需使用防腐型的浮子流量計；對真空環(huán)境要求比較嚴(yán)格的，建議使用高密封性的浮子流量計。
質(zhì)量流量控制器的選擇-普樂斯真空等離子清洗機(jī)品牌廠商

如需對液態(tài)單體進(jìn)行流量監(jiān)控，也可增加氣液流量計，但需考慮單體的測量元素、沸點、冷凝點等因素，可視情況進(jìn)行選擇。以上就是真空等離子清洗機(jī)品牌廠商在選擇流量控制器時總結(jié)出的一些經(jīng)驗，普樂斯擁有自主研發(fā)團(tuán)隊、多年從業(yè)經(jīng)驗，如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！ 

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