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桌面型等離子清洗機(jī)使用方法

返回列表 來(lái)源:普樂(lè)斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2025-11-06 08:28【
文章導(dǎo)讀:桌面型等離子清洗機(jī)因體積小巧、操作相對(duì)簡(jiǎn)便,廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、小型批量生產(chǎn),其使用需遵循 “前期準(zhǔn)備→設(shè)備調(diào)試→樣品處理→后續(xù)操作” 的流程,同時(shí)需注意安全規(guī)范與設(shè)備維護(hù)。
       桌面型等離子清洗機(jī)因體積小巧、操作相對(duì)簡(jiǎn)便,廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、小型批量生產(chǎn),其使用需遵循 “前期準(zhǔn)備→設(shè)備調(diào)試→樣品處理→后續(xù)操作” 的流程,同時(shí)需注意安全規(guī)范與設(shè)備維護(hù)。以下是詳細(xì)的使用方法:
一、使用前:前期準(zhǔn)備與安全檢查
1. 環(huán)境與設(shè)備基礎(chǔ)檢查

       環(huán)境要求:確保操作臺(tái)面平整、通風(fēng)良好,遠(yuǎn)離易燃易爆物品(如酒精、有機(jī)溶劑),環(huán)境溫度控制在 15-35℃,濕度≤60%(防止設(shè)備內(nèi)部受潮或樣品受潮影響清洗效果)。
       設(shè)備外觀與連接:檢查設(shè)備外殼無(wú)破損,電源線、氣管(如氬氣、氧氣、氮?dú)獾确磻?yīng)氣體管路)、信號(hào)線連接牢固,無(wú)松動(dòng)或漏氣。
       耗材與配件:確認(rèn)反應(yīng)氣體儲(chǔ)量充足,氣體壓力穩(wěn)定;若需使用樣品載具(如石英舟、金屬托盤(pán)),需提前清潔載具表面無(wú)油污或雜質(zhì)。
2. 安全防護(hù)準(zhǔn)備

       佩戴絕緣手套(防止設(shè)備外殼靜電或意外觸電)、護(hù)目鏡(避免等離子體強(qiáng)光直射損傷眼睛),若處理?yè)]發(fā)性樣品,需佩戴防塵口罩或防毒面具。
       確認(rèn)設(shè)備的緊急停止按鈕(“急停鍵”)功能正常,按下后能立即切斷電源與氣體供應(yīng)。
二、核心步驟:設(shè)備調(diào)試與樣品處理
1. 樣品預(yù)處理
       樣品清潔:先用無(wú)塵布蘸取無(wú)水乙醇(或丙酮,根據(jù)樣品材質(zhì)選擇)擦拭樣品表面可見(jiàn)油污、灰塵,晾干后再放入設(shè)備(避免雜質(zhì)影響等離子清洗均勻性)。
       樣品固定:將樣品平穩(wěn)放置在設(shè)備的樣品臺(tái)(或載具)上,確保樣品不超出樣品臺(tái)范圍,且與等離子發(fā)生區(qū)域無(wú)遮擋(若樣品為小型零件,可使用夾具固定,防止清洗過(guò)程中移位)。
       樣品兼容性確認(rèn):提前確認(rèn)樣品材質(zhì)是否耐受等離子體處理(如部分熱敏性塑料需降低等離子功率,避免高溫變形),可先進(jìn)行小批量試處理。
2. 設(shè)備參數(shù)設(shè)置(關(guān)鍵步驟)

       不同品牌的桌面型等離子清洗機(jī)操作界面(觸控屏 / 旋鈕)略有差異,但核心參數(shù)一致,需根據(jù)清洗目標(biāo)(如表面清潔、活化、刻蝕)和樣品材質(zhì)調(diào)整:
參數(shù)類(lèi)型 調(diào)整依據(jù)與范圍
反應(yīng)氣體類(lèi)型 - 清潔 / 除油:壓縮空氣、氮?dú)猓ǘ栊?,避免樣品氧化)?br /> - 表面活化(提高黏附性):氧氣、氬氣 + 氧氣混合;
- 刻蝕(粗糙化表面):氬氣、CF?(氟基氣體,需專(zhuān)用設(shè)備)。
氣體流量 通常為 10-50sccm,流量過(guò)小易導(dǎo)致等離子體不穩(wěn)定,過(guò)大則浪費(fèi)氣體且可能降低清洗效率。
等離子功率 一般為 50-300W(桌面型設(shè)備功率較低),熱敏性樣品(如 PET、PC)選 50-100W,金屬 / 玻璃可選 150-300W,避免功率過(guò)高導(dǎo)致樣品損傷。
處理時(shí)間 短則 30 秒 - 2 分鐘(輕度清潔 / 活化),長(zhǎng)則 5-10 分鐘(深度刻蝕),需通過(guò)試處理驗(yàn)證(如活化后測(cè)試樣品表面接觸角,清潔后觀察表面雜質(zhì)殘留)。
真空度(若帶真空) 部分桌面型為 “低壓等離子”,需抽真空至 10-50Pa(具體以設(shè)備要求為準(zhǔn)),真空度不足會(huì)導(dǎo)致等離子體密度低,清洗效果差。
3. 啟動(dòng)等離子清洗流程
       關(guān)閉設(shè)備艙門(mén)(或密封蓋),確認(rèn)艙門(mén)扣合到位。
       若為低壓等離子機(jī)型:打開(kāi)真空泵開(kāi)關(guān),等待真空度達(dá)到設(shè)定值。
       打開(kāi)反應(yīng)氣體閥門(mén),調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值,觀察流量計(jì)指針?lè)€(wěn)定后,啟動(dòng) “等離子發(fā)生” 開(kāi)關(guān)。
       清洗過(guò)程中,觀察設(shè)備運(yùn)行狀態(tài):等離子體通常呈 “輝光”(如氧氣等離子為淡藍(lán)色,氬氣為淡紫色),若輝光消失、出現(xiàn)異響或報(bào)警,需立即按下 “急停鍵”,排查故障。
       達(dá)到設(shè)定處理時(shí)間后,設(shè)備會(huì)自動(dòng)停止等離子發(fā)生,此時(shí)先關(guān)閉氣體閥門(mén),再根據(jù)機(jī)型操作:
       低壓機(jī)型:打開(kāi) “破真空閥”,待真空度恢復(fù)至大氣壓后,再打開(kāi)艙門(mén);
三、使用后:樣品與設(shè)備后續(xù)操作
1. 樣品取出與檢測(cè)

       戴手套取出樣品,避免手指接觸清洗后的表面(防止油脂污染),立即進(jìn)行后續(xù)工序(如粘接、鍍膜、焊接,活化效果通常在空氣中可保持幾小時(shí)至 1 天,需盡快使用)。
       檢測(cè)清洗效果:如用接觸角測(cè)量?jī)x測(cè)試表面親水性(活化后接觸角應(yīng)顯著降低,如從 90° 以上降至 30° 以下);用顯微鏡觀察表面雜質(zhì)是否去除;用拉力測(cè)試驗(yàn)證黏附強(qiáng)度(如活化后膠水粘接拉力提升)。
2. 設(shè)備關(guān)機(jī)與維護(hù)

       關(guān)閉總電源,拔掉電源線(若長(zhǎng)期不使用),清理樣品臺(tái)殘留雜質(zhì)(用無(wú)塵布擦拭,避免堆積影響下次使用)。
       氣體管路維護(hù):若使用腐蝕性氣體(如 CF?),需在關(guān)機(jī)后用氮?dú)獯祾吖苈?nbsp;5-10 分鐘,防止管路腐蝕堵塞;定期檢查氣管接口,更換老化密封圈。
       真空泵維護(hù)(低壓機(jī)型):根據(jù)使用頻率,每 3-6 個(gè)月更換真空泵油(油式真空泵),或清潔干式真空泵的濾芯,確保真空性能穩(wěn)定。
四、關(guān)鍵注意事項(xiàng)

       氣體選擇禁忌:嚴(yán)禁將可燃?xì)怏w(如氫氣、甲烷)接入設(shè)備,除非設(shè)備明確標(biāo)注 “可燃?xì)怏w兼容”;使用混合氣體時(shí),需確認(rèn)氣體配比安全(如氧氣與惰性氣體混合,氧氣比例不超過(guò) 50%)。
       樣品限制:禁止處理易揮發(fā)、易分解的樣品(如某些高分子聚合物粉末),避免分解產(chǎn)物污染設(shè)備內(nèi)部或產(chǎn)生有毒氣體;禁止處理含有水分的樣品(需提前烘干),防止等離子體與水反應(yīng)生成腐蝕性物質(zhì)。
       設(shè)備壽命保護(hù):避免長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行(桌面型設(shè)備建議單次運(yùn)行不超過(guò) 30 分鐘,間歇使用),防止等離子發(fā)生器過(guò)熱;若設(shè)備報(bào)警(如過(guò)溫、過(guò)壓),需先排查故障,不可強(qiáng)制啟動(dòng)。
       通過(guò)以上步驟,可規(guī)范完成桌面型等離子清洗機(jī)的操作,同時(shí)需結(jié)合具體設(shè)備的說(shuō)明書(shū)(不同廠家的參數(shù)范圍、操作細(xì)節(jié)可能有差異)調(diào)整流程,確保清洗效果與設(shè)備安全。

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